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高純氣體是指特定元素含量極高的純凈氣體的總稱,廣泛應用于工業(yè)、和生物領域。
在化工行業(yè)方面, 高純二氧化碳常被用作干冰或制冷劑以進行冷卻和解凍;此外還廣泛用于電子元器件的生產中作為蝕刻清洗的氣體以及化學鍍層等應用上; 在食品行業(yè)中是常用的保鮮冷凍介質及飲料的原料之一. 而在半導體設備和制造業(yè)中則是不可或缺的重要材料 。同時隨著超大規(guī)模集成電路的不斷涌現 ,對多組分和高濃度的特殊特種氣體需求量不斷增長 ,這些產品主要應用于技術 、產業(yè)等領域
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